硅单晶滚磨的目的意义
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硅单晶滚磨的目的意义

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全自动智能化环保节能立式磨粉机已经新鲜出炉啦!

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硅单晶滚磨的目的意义

  • 光伏晶体技术截断、滚磨和打磨技术 知乎

    2020年8月11日  滚磨机的工作原理是:把晶体固定在滚磨机上(从两端面顶紧),晶体绕自己的中轴线慢速旋转。 晶体的侧面有一个金刚砂磨头高速旋转,并左右移动,不断磨去晶体的外表皮。

  • 单晶硅片的制造技术 知乎专栏

    2020年12月28日  摘要:随着IC技术的进步,集成电路芯片不断向高集成化、高密度化及高性能化方向发展。传统的硅片 制造技术主要适应小直径( ̄<200 mm)硅片的生产;随着大直径硅片的应用,硅片的超精密磨削得 到广泛的应

  • 晶圆制备工艺 知乎

    2021年4月23日  磨片工艺的目的包括以下两点。 ①去除硅片表面的刀疤,使硅片表面加工损伤均匀一致。 ②调节硅片厚度,使片与片之间厚度逐渐缩小,并提高表面平整度和平行度。 6倒角 倒角是用特定形状的砂轮磨去硅片边缘锋利的崩边、棱角和裂缝等。

  • 基于单晶硅棒滚磨一体机的晶体定向与磨削工艺研究 百度学术

    摘要: 随着国内半导体产业的蓬勃发展,半导体材料加工设备需求激增,相应的研究也迅速发展由于国内研究起步晚,基础差,与国外差距大,差距约20年高端设备被国外垄断,其中滚磨一体机是半导体硅材料加工的关键设备之一,同样被国外垄断国产设备采用分体式

  • 硅晶体滚磨与开方百度文库

    滚磨与开方:经过直拉法生长出的硅锭子, 外形是不规则的圆柱体,外侧可能有晶棱出 现,头和尾部均有锥形端,因此在进行硅片 切割之前,需要对硅锭进行整形与分割,使 其达到硅片切割(切片)的尺寸要求。

  • 芯片制造:半导体工艺与设备 341 滚磨 陈译等编著 微

    滚磨机具有磨削硅单晶棒平边参考面或定位槽的功能 对磨削出所需直径的单晶棒进行定向测试。 在同一滚磨机设备上,磨削出单晶棒的平边参考面或定位槽。 滚磨机的类型和工作原理 滚磨机可分为砂轮纵向移动型和工作台纵向移动型两种 随着硅单晶棒料直径的

  • 大尺寸硅单晶棒Notch槽滚磨工艺研究 道客巴巴

    2021年5月22日  硅单晶棒生长完成后,大多有棱线,表面不规则,外周成椭圆状,对后续工艺过程产生不同程度的影响,进而引进单晶棒滚磨工艺,去除了外周不规则的形状,且在滚磨过程中确定了单晶参面的位置。

  • 单晶硅片超精密磨削技术与设备 百度学术

    结合单晶硅片的发展,回顾了单晶硅片超精密磨削技术与设备的发展历程,对比分析了广泛应用的转台式磨削,硅片旋转磨削和双面磨削等硅片磨削技术的原理及代表性设备的特点,讨论了用于单晶硅片平整化加工和背面减薄加工的低损伤磨削技术的最新进展,并对

  • 单晶硅片超精密磨削技术与设备

    结合单晶硅片的发展,回顾了单晶硅片超精密磨削技术与设备的发展历程,对比分析了广泛应用的转台式磨削、硅片旋转磨削和双面磨削等硅片磨削技术的原理及代表性设备的特点,讨论了用于单晶硅片平整化加工和背面减薄加工的低损伤磨削技术的最新进展,并对

  • 硅单晶滚磨加工工艺的探讨许志刚王寿瑛中文期刊【掌桥科研】

    2024年4月23日  硅单晶锭表面滚磨外形为晶锭加工的重要环节,本文以外圆磨削为例,分析了硅锭表面磨削加工的机理,并对滚磨加工后的硅锭表面应力进行了各种试验分析,最后测得了滚磨损

  • 光伏晶体技术截断、滚磨和打磨技术 知乎

    2020年8月11日  滚磨机的工作原理是:把晶体固定在滚磨机上(从两端面顶紧),晶体绕自己的中轴线慢速旋转。 晶体的侧面有一个金刚砂磨头高速旋转,并左右移动,不断磨去晶体的外表皮。

  • 单晶硅片的制造技术 知乎专栏

    2020年12月28日  摘要:随着IC技术的进步,集成电路芯片不断向高集成化、高密度化及高性能化方向发展。传统的硅片 制造技术主要适应小直径( ̄<200 mm)硅片的生产;随着大直径硅片的应用,硅片的超精密磨削得 到广泛的应

  • 晶圆制备工艺 知乎

    2021年4月23日  磨片工艺的目的包括以下两点。 ①去除硅片表面的刀疤,使硅片表面加工损伤均匀一致。 ②调节硅片厚度,使片与片之间厚度逐渐缩小,并提高表面平整度和平行度。 6倒角 倒角是用特定形状的砂轮磨去硅片边缘锋利的崩边、棱角和裂缝等。

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    摘要: 随着国内半导体产业的蓬勃发展,半导体材料加工设备需求激增,相应的研究也迅速发展由于国内研究起步晚,基础差,与国外差距大,差距约20年高端设备被国外垄断,其中滚磨一体机是半导体硅材料加工的关键设备之一,同样被国外垄断国产设备采用分体式

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  • 芯片制造:半导体工艺与设备 341 滚磨 陈译等编著 微

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    2021年5月22日  硅单晶棒生长完成后,大多有棱线,表面不规则,外周成椭圆状,对后续工艺过程产生不同程度的影响,进而引进单晶棒滚磨工艺,去除了外周不规则的形状,且在滚磨过程中确定了单晶参面的位置。

  • 单晶硅片超精密磨削技术与设备 百度学术

    结合单晶硅片的发展,回顾了单晶硅片超精密磨削技术与设备的发展历程,对比分析了广泛应用的转台式磨削,硅片旋转磨削和双面磨削等硅片磨削技术的原理及代表性设备的特点,讨论了用于单晶硅片平整化加工和背面减薄加工的低损伤磨削技术的最新进展,并对

  • 单晶硅片超精密磨削技术与设备

    结合单晶硅片的发展,回顾了单晶硅片超精密磨削技术与设备的发展历程,对比分析了广泛应用的转台式磨削、硅片旋转磨削和双面磨削等硅片磨削技术的原理及代表性设备的特点,讨论了用于单晶硅片平整化加工和背面减薄加工的低损伤磨削技术的最新进展,并对

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    2024年4月23日  硅单晶锭表面滚磨外形为晶锭加工的重要环节,本文以外圆磨削为例,分析了硅锭表面磨削加工的机理,并对滚磨加工后的硅锭表面应力进行了各种试验分析,最后测得了滚磨损

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    2020年12月28日  摘要:随着IC技术的进步,集成电路芯片不断向高集成化、高密度化及高性能化方向发展。传统的硅片 制造技术主要适应小直径( ̄<200 mm)硅片的生产;随着大直径硅片的应用,硅片的超精密磨削得 到广泛的应

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    结合单晶硅片的发展,回顾了单晶硅片超精密磨削技术与设备的发展历程,对比分析了广泛应用的转台式磨削,硅片旋转磨削和双面磨削等硅片磨削技术的原理及代表性设备的特点,讨论了用于单晶硅片平整化加工和背面减薄加工的低损伤磨削技术的最新进展,并对

  • 单晶硅片超精密磨削技术与设备

    结合单晶硅片的发展,回顾了单晶硅片超精密磨削技术与设备的发展历程,对比分析了广泛应用的转台式磨削、硅片旋转磨削和双面磨削等硅片磨削技术的原理及代表性设备的特点,讨论了用于单晶硅片平整化加工和背面减薄加工的低损伤磨削技术的最新进展,并对

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    2020年8月11日  滚磨机的工作原理是:把晶体固定在滚磨机上(从两端面顶紧),晶体绕自己的中轴线慢速旋转。 晶体的侧面有一个金刚砂磨头高速旋转,并左右移动,不断磨去晶体的外表皮。

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    2020年12月28日  摘要:随着IC技术的进步,集成电路芯片不断向高集成化、高密度化及高性能化方向发展。传统的硅片 制造技术主要适应小直径( ̄<200 mm)硅片的生产;随着大直径硅片的应用,硅片的超精密磨削得 到广泛的应

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    2021年4月23日  磨片工艺的目的包括以下两点。 ①去除硅片表面的刀疤,使硅片表面加工损伤均匀一致。 ②调节硅片厚度,使片与片之间厚度逐渐缩小,并提高表面平整度和平行度。 6倒角 倒角是用特定形状的砂轮磨去硅片边缘锋利的崩边、棱角和裂缝等。

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    2021年5月22日  硅单晶棒生长完成后,大多有棱线,表面不规则,外周成椭圆状,对后续工艺过程产生不同程度的影响,进而引进单晶棒滚磨工艺,去除了外周不规则的形状,且在滚磨过程中确定了单晶参面的位置。

  • 单晶硅片超精密磨削技术与设备 百度学术

    结合单晶硅片的发展,回顾了单晶硅片超精密磨削技术与设备的发展历程,对比分析了广泛应用的转台式磨削,硅片旋转磨削和双面磨削等硅片磨削技术的原理及代表性设备的特点,讨论了用于单晶硅片平整化加工和背面减薄加工的低损伤磨削技术的最新进展,并对

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    结合单晶硅片的发展,回顾了单晶硅片超精密磨削技术与设备的发展历程,对比分析了广泛应用的转台式磨削、硅片旋转磨削和双面磨削等硅片磨削技术的原理及代表性设备的特点,讨论了用于单晶硅片平整化加工和背面减薄加工的低损伤磨削技术的最新进展,并对

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    2024年4月23日  硅单晶锭表面滚磨外形为晶锭加工的重要环节,本文以外圆磨削为例,分析了硅锭表面磨削加工的机理,并对滚磨加工后的硅锭表面应力进行了各种试验分析,最后测得了滚磨损